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ETG gibt neu entwickelten Gerätestandard für die Halbleiterindustrie frei

Mit dem kürzlich freigegebenen Geräteprofil ETG.5003-1 sowie den zugehörigen neun spezifischen Geräteprofilen liefert die EtherCAT Technology Group (ETG) die Basis für eine neue Tool-Generation in der Halbleiterindustrie. 

Die Freigabe der Geräteprofile ermöglicht, dass EtherCAT in Halbleiterfertigungsmaschinen, den so genannten Tools, nicht mehr nur für Motion Control, I/O, Sensoren und Gateways eingesetzt wird, sondern ab sofort auch branchenspezifische Geräte wie Massendurchflussregler oder Vakuumventile direkt ins EtherCAT-System eingebunden werden können.

Firmen wie Applied Materials, Lam Research oder Tokyo Electron nahmen aktiv an der Spezifikationsarbeit teil und ermutigten ihre Gerätelieferanten, sich in die Semiconductor Technical Working Group der ETG einzubringen.

www.ethercat.org

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